Máy đo phối hợp Kiểm tra Accretech
O-INSPECT là máy đo đa cảm biến được trang bị cảm biến loại tiếp xúc và không tiếp xúc.
O-INSPECT được trang bị cảm biến ánh sáng trắng (tùy chọn) áp dụng nguyên lý đồng tiêu và có thể thực hiện các phép đo không tiếp xúc đối với các cấu trúc ba chiều. Ngoài ra, O-INSPECT cũng có thể được trang bị bàn xoay (tùy chọn cho 543) để tăng hiệu quả đo.
Tính năng, đặc điểm
O-INSPECT kết hợp tất cả các chức năng mà máy đo ba chiều, máy chiếu, kính hiển vi quang học và máy đo đường viền có, cho phép đo và đánh giá các bộ phận nhỏ bằng một máy duy nhất.
Hoạt động tiêu chuẩn hóa với phần mềm đa năng Calypso.
Được trang bị cảm biến đầu dò quét VAST XXT
Được trang bị ống kính zoom viễn thông Discovery
O-INSPECT được trang bị ống kính zoom Discovery, được phát triển bởi bộ phận kính hiển vi tại ZEISS. Điều này cho phép đo tốc độ cao, không tiếp xúc với độ chính xác cao. Discovery cho phép đo hình ảnh có độ chính xác cao của phôi được làm bằng các vật liệu khác nhau. Độ phóng đại thu phóng có thể chuyển đổi của nó đảm bảo kết quả có độ tái lập cao.
?
?